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交领事馆。所以他们现在也能收到不少国外的最新的研究资料，当然这些资料都是对外公开的消息，高尖端的技术自然是保密的。还有一些技术涉及到部分关键数据也是保密的。不过陆见到不是很在意，在他那个时代，很多保密技术早就已经落后了，更多保密技术保密的是它的研究方向。

    陆见经常来阅读室，很快就来到一个地方，找到同光刻机会有关系的技术资料。

    光刻机的核心就是曝光机，整个机器将是将掩膜对准曝光机，利用模版将晶圆表面的保护膜去除掉，使用光制作一个图形。

    曝光机大概有三种技术，按照使用时间的跨度，第一种是接触式曝光，曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率差不多，设备很简单，但是很容易造成掩膜板的磨损，使用寿命也很低。之前很多地方都是用这种，但现在已经快被淘汰了。第二种就是接近式曝光，也就是这种技术替代了第一种方式，这种掩膜板和光刻胶的基底层会留下一个微乎其微的空隙，这样也就减少了掩膜板的磨损。

    第三种就是投影式曝光，在掩膜板和光刻胶之间使用光学系统，就像陆见他们之前制作芯片的方式一样，当然呢这种技术也是最复杂的哪一种，从扫描投影曝光到步进重复投影曝光，到最后已经变成了扫描步进投影曝光，掩膜板和需要转移图案的尺寸比例从1:1变成了4:1。掩膜板的制作难度也减少了很多，掩膜板上面图案的缺陷的影响也减小了很多。

    不过现在国外大多能使用的都是接近式曝光，然后就是投影式曝光中的扫描投影曝光。花国如果想要突破的话最好是将后面两种研究出来，只不过难度还是很大的。不过这些都应该是光学研究所和芯片研究所要cao心的事情，陆见他们这次应该设置控制系统还有探测系统之类的，当然有机会说不定也会帮着做一些机械方面的工作。

    陆见对光学这一块没有研究，记得上面这一些还是前世的时候有去查过资料，毕竟21世纪，芯片实在是太重要了，要知道后世的时候M国为了限制花国芯片的发展，可是使出了百般手段想要遏制花国重要芯片企业的发展。陆见想到这里不由得在心里下定决心，这一次他一定要帮着花国，他就不相信了，他们现在同M国站在同一起跑线上面，还能落后于M国不成。

    虽然他不懂光学，但是提醒一下研究方向还是可以的，要知道他们之前研究投影仪什么的就是同光学研究所合作过的，这一次再次合作，肯定会更有默契。

    脑子里各种想法，陆见却没有耽搁自己找资料，很快就将自己需要的资料给找到了，陆见没有在阅读室继续待着，这边还有其他人，看书也不是很方便，还是回办公室看吧。